M32-01 空气多点采样器 在大型洁净室运行非关键制程时，无需进行连续粒子监测，此时可选用可靠的定期粒子检测方案，精准收集粒子污染趋势数据。借助气溶胶多点采样系统开展监测工作，能够用更少的仪器实现更高效的定期粒子检测——通过一台粒子计数器兼容32个采样端口，灵活切换不同监测位置，有效提升生产效率与产品良率。
M32-01 空气多点采样器的特点与优势
可实现多路监控，ZUI多支持32个监测位置
洁净净化所需时间短，提升监测整体效率
单个采样点的成本经济实惠，降低整体投入
具备双向控制功能，操作灵活便捷
采样管ZUI大可实现38.1米（125英尺）的样本传输距离
支持可编程采样点序列，可根据需求灵活设置监测流程
可通过TSI FMS软件实现统一控制，简化操作流程
兼容TSI 1 CFM（28.3 L/min）规格的AeroTrak™便携式粒子计数器及AeroTrak 7110远程粒子计数器
集成式控制器设计，ZUI大限度降低设备操作复杂度
配备压力传感器端口，确保真空流稳定，保障监测精度
符合ISO 14644-1标准，该标准作为洁净室空气洁净度分级的核心标准，明确了悬浮颗粒物浓度的测量规范，可保障监测数据合规可靠、具备国际通用性。
请注意——32-01型多点采样器目前可发运至中国、印度、日本、韩国、墨西哥、新加坡、台湾地区及美国。
M32-01 空气多点采样器的应用范围
主要用于各类场景下的粒子污染监测工作。