配电系统主要包括照明、电力、通讯和消防等，生产区应当有适度的照明，目视操作区域的照明应当满足操作要求，灯具、开关和插座等材料要符合洁净室使用要求，同时保证密封性。除满足洁净外，还应考虑节能等。洁净配电系统的监理要点有：照明灯具选用吸顶式透明罩净化灯，开关选用洁净开关，插座选用洁净插座；电器、电料的包装应完好，材料外观不应有破损，附件、备件应齐全；电器、电料的规格、型号应符合设计要求及国家现行电器产品标准的有关规定。
施工过程中的巡检，洁净室的配电盘（柜）、控制显示盘（柜）、开关盒宜采用嵌入式安装，与墙体之间的缝隙应采用气密构造；配电盘（柜）、控制盘（柜）的检修门不宜开在洁净室内，如必须设在洁净室内，应为盘、柜安装气密门；洁净室配电系统施工满足现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》的要求外，对所采用的材料及施工还应满足洁净室的需求；洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设，主要工作（生产）区与辅助工作（生产）区线路应分开敷设；配电盘的金属框架及基型钢必须接地PE或接零PEN可靠；照明功率密度现行值应符合设计要求，其净化区主要工作场所照度不低于300 LX，净化区辅助工作室、走廊、人员净化室和物料净化室150～200 LX，非净化区办公室、仪器室和化验室照度不低于300 LX，其中配电间照度不低于200 LX；安装电源插座时，面向插座的左侧应接零线（N），右侧应接相线（L），中间上方应接保护地线（PE）；洁净室内的电气管道应暗敷，管道材料采用非燃材料。