等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
滚筒等离子清洗机针对粉末或者颗粒的360度表面处理设备，通过旋转机构带动石英搅拌罐使样品处于悬空位置达到360度清洗。
设备型号 | X |
供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 150W |
匹配方式 | 手动匹配 |
射频频率 | 13.56MHz |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体容积 | φ100x200mm |
旋转速度 | 20转/分钟 |
倾斜角度 | 60° |
气体流量 | 0—300ml/min |
真空计量程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计) |
过程控制 | 手动控制 |
法兰规格 | φ50不锈钢法兰 |
清洗时间 | 0-999秒 |
外形尺寸 | 6mm |
重量 | 56Kg |
真空室温度 | 小于65°C |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，电源线一根，说明书一本。 |