硅基氮化铝：
@高质量
@大面积
@低成本
产品名称 | AlN on Si |
基底材料（Substrate） | 500±10um Si(100) |
直径（inch） | 2、4 可定制 |
AlN外延厚度（Thickness） | 50~200nm |
晶面取向（Orientation） | c-aixs [0001] |
表面粗糙度（nm）(5x5um) | Ra < 1nm (200nm) |
HRXRD半高宽(°) @（0002） | ＜1.5° |
总厚度变化(TTV) | ＜ 7um |
翘曲度(Warp) | ＜30um |
弯曲度(Bow) | -10 ~15um |
包装（Packaging） | 单片/多片晶圆盒 |