配置隔离式(双扉)净化洗衣机、高效过滤器净化烘干机、18 MΩEDI超纯水系统及ESD和尘粒测试检测仪器。使用二级RO水及非离子型表面活性洗涤剂对无尘工作服进行清洗，清洗后的无尘服的折叠、包装、检测和暂存均在超洁净环境中完成。
依照不同的使用环境，对无尘服清洗的周期性有不同要求。通常千级净化间无尘服至少每周洗涤一次。其洗涤过程与普能清洗也有所不同：(1)新制作的无尘服可直接进行洗涤，而回收穿过的无尘服发现油污，应仔细去除油污再进行洗涤程序。 (2)洗涤前要对擦破、损坏及搭扣等附属品进行检查，对有缺陷的要修理、更换或报废。(3)必须在比使用无尘服的洁净室的洁净度高的洁净室中进行清洗、烘干、包装。(4)清洗用的水要使用18兆欧水，并选用中性洗涤剂进行清洗。(5)在装有洁净空气循环系统的烘干机中进行干燥并消毒。干燥消毒后，双层包装，进行真空塑封。