射频电源维修RF generator ENI(MKS) Spectrum B-3013

射频电源维修RF generator ENI(MKS) Spectrum B-3013

射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏

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