薄层电阻是材料的电阻率除以其厚度，表示通过导电/半导体材料的薄正方形的横向电阻。
该测量使用排列成一行的四个探针，每个探针之间的间距相等。
电流在外部两个探针之间通过，导致内部两个探针间的电压降低。
通过测量电压的这种变化，可以计算出薄层电阻。
Ossila四点探针系统是一种易于使用的工具，用于快速测量材料的薄层电阻、电阻率和电导率。
Ossila四点探针以Ossila源测量单元为核心，是一种低成本的系统，可实现宽的测量范围。
探头使用弹簧加载触点而不是尖锐的针头，防止损坏精细的样品，例如厚度在纳米量级的聚合物薄膜。
价格包括一个四点探针、内置源测量单元、易于使用的PC软件和一个ITO涂层玻璃基板。
测量薄层电阻，以增强其材料特性和薄膜开发计划的能力。
四点探针能够提供1μA至200 mA之间的电流，可以测量低至100μV至10 V的电压。
该系统可以测量100 mΩ范围内的薄层电阻/□ 至10 MΩ/□, 使得能够表征广泛的材料。
四点探头的设计考虑到了精细样品的测量，采用镀金、柔和的弹簧加载触点和圆形jianduan。
这导致60克的恒定接触力，防止探针刺穿脆弱的薄膜，同时仍然提供良好的电接触。
四点探针测量规格：电压范围：±100μV至±10 V电流范围：±1μA至±200 mA（5个范围）薄层电阻范围：100 mΩ/□ 至10 MΩ/□ （欧姆/平方）薄层电阻准确度jingque度测量范围100 mΩ/□±8%±3%200 mA1 Ω/□±2%±0.5%200 mA10 Ω/□±1%±0.5%200 mA100 Ω/±1%±0.05%20 mA1 kΩ/□±1%±0.03%20 mA10 kΩ/□±1%±0.02%2000 µA100 kΩ/□±2%±0.05%200 µA1 MΩ/□±8%±0.5%20 µA10 MΩ/□±30%±5%20 µA 探头间距1.27 mm（0.05“）矩形样本大小范围长边最小值：5 mm（0.20“）短边最大值：60 mm（2.36“）圆形样品尺寸范围（直径）5 mm至76.2 mm（0.20“x 3.00”）最大样品厚度10 mm（0.39“）外形尺寸（宽x高x长）145mmx 150mmx 240mm（5.71英寸x 5.91英寸x 9.45英寸）请注意，该系统不适用于硅或其他自然形成绝缘氧化物层的材料。
为了测量这种材料，氧化物层需要被探针穿透，这对于该系统使用的弹簧加载的圆形jianduan探针来说可能是不可能的。