质量流量计
TSM-D200系列数字式气体质量流量计，满足从5mL/min~5000L/min的宽范围气体量程监测，同时支持传统模拟量和RS485数字信号，满足大部分气体控制的通用需求，气体通路为不锈钢材质，适用于所有气体或高压环境。
特点
实时确认流量和动作状态
响应速度快、精度高
对外部环境变化的稳定性强
可选本体显示模块和累计流量、及外部PID指令
技术规格
| 型号 | TSM-D210 | TSM-D220 | TSM-D230 | TSM-D240 | TSM-D245 | TSM-D250 | TSM-D260 |
| 流量范围（N2基准） | 5sccm ~ 1.5slm | 1.5slm~30slm | 30slm~100slm | 100slm~400slm | 400slm~1000slm | 1000slm~2000slm | 2000slm~5000slm |
| 流量测量范围 | 2 ~ 满量程 | ||||||
| 精度 | ≤±1%满量程 | ≤±2%满量程 | ≤±3%满量程 | ||||
| 响应速度 | ≤1秒 | ≤2秒 | |||||
| 重复性 | ≤0.2%满量程 | ≤0.5%满量程 | |||||
| 密封种类 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||||
| 电气连接及信号 | 9针D-Sub公头 模拟：0-5VDC或4-20mA 数字：RS485 | ||||||
| 电源 | +15VDC~+24VDC | ||||||
| 操作温度 | 操作温度：5-50℃（推荐15~35℃） | ||||||
| 预热时间 | 15分钟（准确度保证：30分钟） | ||||||
| 法兰连接 | 1/8"~1"LOK或VCR（根据型号） | 25A或40A | |||||
| 重量 | 0.73Kg | 0.75Kg | 1Kg | 1.71Kg | 4.5Kg | 5.6Kg | 16.9Kg |
产品尺寸