全方位安装 ■轻巧设计 ■节能 ■分子泵停止与启动时间短 ■附带维护警报机能 ■低振动 ■无需调整 ■自动校准 ■可控制转子旋转速度 ■大流量排气 ■多种通信模式 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE用途・半导体制造・电子枪排气，离子源排气・FPD制造・表面处理，表面改质・各种电子部件的制造・分析，试验装置・管球制造，光学部件制造・加速器，放射线设施，核聚变研究・热处理・研究开发规格外观尺寸表性能曲线控制器吸气口法兰VG150CF160ISO-B160排气速度N2 (L/s)900N2(附加金属保护网) (L/s)860H2 (L/s)1050大压缩比N21×108 H21.5×104 极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)
