——综述篇——第1章：半导体设备零部件行业综述及数据来源说明1.1 半导体设备零部件的界定1.1.1 半导体设备零部件的定义1.1.2 半导体设备零部件专业术语1.1.3 半导体设备零部件的特征1.1.4 半导体设备零部件所处行业1、《国民经济行业分类》2、《战略性新兴产业分类》1.2 半导体设备零部件所处产业链环节及其重要性1.3 半导体设备零部件主要类型1.4 本报告研究范围界定说明1.5 本报告数据来源及统计标准说明1.5.1 本报告quanwei数据来源1.5.2 本报告研究方法及统计标准——现状篇——第2章：全球半导体设备零部件行业发展现状及趋势2.1 全球半导体设备零部件行业发展历程2.2 全球半导体设备零部件行业专利和技术2.2.1 全球半导体设备零部件行业专利情况2.2.2 全球半导体设备零部件行业先进技术1、国外射频电源技术2、国外半导体阀技术3、国外静电吸盘技术2.3 全球半导体设备零部件行业发展现状2.3.1 全球半导体设备零部件行业整体市场规模1、全球半导体及半导体设备市场规模2、全球半导体设备零部件市场规模2.3.2 全球半导体设备零部件行业细分市场结构2.3.3 全球半导体设备零部件行业细分市场规模2.4 全球半导体设备零部件行业市场竞争态势2.4.1 全球半导体设备零部件行业供应商情况2.4.2 全球半导体设备零部件企业成长路径分析2.4.3 全球半导体设备零部件行业市场份额2.4.4 全球半导体设备零部件行业投融资&并购1、全球半导体设备零部件行业投融资2、全球半导体设备零部件行业并购交易2.5 全球半导体设备零部件行业区域发展格局2.5.1 全球半导体设备零部件区域发展格局2.5.2 重点区域市场分析：美国2.5.3 重点区域市场分析：欧洲2.5.4 重点区域市场分析：日本2.5.5 国外半导体设备零部件发展经验借鉴2.6 全球半导体设备零部件行业市场前景预测2.7 全球半导体设备零部件行业发展趋势洞悉第3章：中国半导体设备零部件行业发展现状及规模3.1 中国半导体设备零部件行业发展历程3.2 中国半导体行业自主化进程必要性分析3.2.1 美国对华半导体行业技术限制情况1、《2022美国芯片法案》的负面影响2、美国对华半导体行业的限制措施3、美国对华技术打压影响分析3.2.2 日本对华半导体行业技术限制情况1、日本对华半导体行业的限制措施2、日本对华技术打压影响分析3.2.3 荷兰对华半导体行业技术限制情况1、荷兰对华半导体行业的限制措施2、荷兰对华技术打压影响分析3.2.4 国际对华半导体零部件行业限制的影响总结3.3 中国半导体设备零部件行业技术进展3.3.1 国家基金对中国半导体产业的扶持投入3.3.2 中国半导体设备零部件技术发展概况1、代表性企业研发模式2、代表性企业专利情况3、技术路线及工艺流程3.3.3 中国半导体设备零部件关键技术现状与突破1、精密机械制造技术2、表面处理特种工艺技术3、半导体设备焊接技术3.3.4 中国半导体设备零部件行业技术发展方向3.3.5 技术环境对半导体设备零部件行业的影响3.4 中国半导体设备零部件的商业模式3.5 中国半导体设备零部件行业供给情况分析3.5.1 中国半导体设备零部件行业生产企业3.5.2 中国半导体设备零部件的生产模式3.5.3 中国半导体设备零部件行业产能情况1、代表性企业产能情况2、代表性企业产能扩张计划3.6 中国半导体设备零部件行业市场需求3.6.1 中国半导体设备行业发展现状分析1、半导体设备行业产品结构2、半导体设备行业应用领域3、半导体设备行业市场规模4、半导体设备行业对零部件的影响3.6.2 中国大陆晶圆制造现状对半导体设备零部件的需求1、中国大陆晶圆制造厂资本开支情况2、中国大陆晶圆制造产能情况3、中国大陆晶圆制造对半导体零部件需求情况3.6.3 中国半导体设备零部件行业客户认证体系3.6.4 中国半导体设备零部件行业市场价格3.7 中国半导体设备零部件行业国产化率分析3.7.1 中国半导体行业整体国产化率1、中国半导体设备行业整体国产化率2、中国半导体设备细分产品国产化率3.7.2 中国半导体设备零部件行业国产化率3.7.3 中国半导体行业不同环节国产化率对比3.8 中国半导体设备零部件行业市场规模体量3.9 中国半导体设备零部件行业发展痛点及挑战第4章：中国半导体设备零部件行业竞争状况及格局4.1 中国半导体设备零部件竞争者入场及战略布局4.1.1 中国半导体设备零部件竞争者入场进程4.1.2 中国半导体设备零部件竞争者集群分布4.1.3 中国半导体设备零部件竞争者区域热力图4.1.4 中国半导体设备零部件竞争者战略布局状况4.2 中国半导体设备零部件行业市场竞争格局4.2.1 中国半导体设备零部件行业市场竞争态势4.2.2 中国半导体设备零部件行业市场竞争格局4.2.3 中国半导体设备零部件行业市场集中度4.3 中国半导体设备零部件行业波特五力模型分析4.3.1 半导体设备零部件行业供应商的议价能力4.3.2 半导体设备零部件行业消费者的议价能力4.3.3 半导体设备零部件行业新进入者威胁分析4.3.4 半导体设备零部件行业替代品威胁分析4.3.5 半导体设备零部件行业现有企业竞争情况4.3.6 半导体设备零部件行业竞争状态总结4.4 中国和国外企业的差异分析4.4.1 中国企业和海外企业的差异分析4.4.2 中国企业在全球市场的优劣势分析4.5 中国半导体设备零部件行业投融资&并购重组4.5.1 半导体设备零部件投融资1、半导体设备零部件行业投融资概述2、半导体设备零部件行业投融资统计3、半导体设备零部件行业投融资规模4、半导体设备零部件行业投融资解读5、半导体设备零部件行业投融资趋势4.5.2 半导体设备零部件兼并重组1、半导体设备零部件兼并重组阶段、方式及动因2、半导体设备零部件兼并重组事件汇总3、半导体设备零部件兼并重组案例分析第5章：中国半导体设备零部件产业链全景及配套产业发展5.1 中国半导体设备零部件产业链结构梳理5.2 中国半导体设备零部件产业链生态图谱5.3 中国半导体设备零部件产业链区域热力图5.4 中国半导体设备零部件产业价值链及成本投入5.4.1 中国半导体设备零部件产业价值链分析图5.4.2 中国半导体设备零部件行业成本投入结构5.4.3 中国半导体设备零部件行业价格传导机制5.5 半导体设备零部件上游原材料5.5.1 半导体设备零部件原材料概述5.5.2 半导体设备零部件金属材料5.5.3 半导体设备零部件非金属材料5.5.4 半导体设备零部件合金材料5.6 配套产业布局对半导体设备零部件行业的影响总结第6章：中国半导体设备零部件行业细分产品市场分析6.1 半导体设备零部件行业细分市场概况6.1.1 半导体设备零部件细分市场特性6.1.2 半导体设备零部件细分市场技术门槛6.2 半导体设备零部件细分市场：机械类零部件6.2.1 机械类零部件概述6.2.2 机械类零部件市场概况6.2.3 机械类零部件发展趋势6.3 半导体设备零部件细分市场：电气类零部件6.3.1 电气类零部件概述6.3.2 电气类零部件市场概况6.3.3 电气类零部件发展趋势6.4 半导体设备零部件细分市场：机电一体类零部件6.4.1 机电一体类零部件概述6.4.2 机电一体类零部件市场概况6.4.3 机电一体类零部件发展趋势6.5 半导体设备零部件细分市场：气体/液体/真空系统类6.5.1 气体/液体/真空系统类概述6.5.2 气体/液体/真空系统类市场概况6.5.3 气体/液体/真空系统类发展趋势6.6 半导体设备零部件行业其他细分6.6.1 仪器仪表类6.6.2 光学类零部件6.6.3 定制装置6.7 中国半导体设备零部件行业细分市场战略地位分析第7章：中国半导体设备零部件行业细分应用市场分析7.1 半导体设备零部件应用场景&行业领域分布7.1.1 半导体设备零部件应用设备分布7.1.2 半导体设备零部件应用行业领域7.2 半导体设备零部件细分应用：半导体刻蚀设备7.2.1 半导体刻蚀设备发展状况1、半导体刻蚀设备发展现状2、半导体刻蚀设备发展趋势7.2.2 半导体刻蚀设备领域半导体设备零部件应用概述7.2.3 半导体刻蚀设备领域半导体设备零部件市场现状7.2.4 半导体刻蚀设备领域半导体设备零部件需求潜力7.3 半导体设备零部件细分应用：薄膜沉积设备7.3.1 薄膜沉积设备发展状况1、薄膜沉积设备发展现状2、薄膜沉积设备发展趋势7.3.2 薄膜沉积设备领域半导体设备零部件应用概述7.3.3 薄膜沉积设备领域半导体设备零部件市场现状7.3.4 薄膜沉积设备领域半导体设备零部件需求潜力7.4 半导体设备零部件细分应用：半导体光刻设备7.4.1 半导体光刻设备发展状况1、半导体光刻设备发展现状2、半导体光刻设备发展趋势7.4.2 半导体光刻设备领域半导体设备零部件应用概述7.4.3 半导体光刻设备领域半导体设备零部件市场现状7.4.4 半导体光刻设备领域半导体设备零部件需求潜力7.5 半导体设备零部件细分应用：其他7.5.1 离子注入设备7.5.2 半导体抛光设备7.5.3 半导体清洗设备7.5.4 半导体封测设备7.6 中国半导体设备零部件行业细分应用市场战略地位分析第8章：全球及中国半导体设备零部件企业案例解析8.1 全球及中国半导体设备零部件企业梳理与对比8.2 全球半导体设备零部件企业案例分析（不分先后，可指定）8.2.1 美国MKS仪器1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构及半导体设备零部件业务布局4、企业全球市场布局及在华策略8.2.2 德国ZEISS1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构及半导体设备零部件业务布局8.2.3 英国Edwards1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构及半导体设备零部件业务布局4、企业全球市场布局及在华策略8.2.4 日本Horiba1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构及半导体设备零部件业务布局4、企业全球市场布局及在华策略8.2.5 荷兰ASML1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构及半导体设备零部件业务布局4、企业全球市场布局及在华策略8.3 中国半导体设备零部件企业案例分析（不分先后，可指定）8.3.1 沈阳富创精密设备股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.2 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.3 苏州华亚智能科技股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.4 宁波江丰电子材料股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.5 上海万业企业股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.6 北京华卓精科科技股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.7 四川英杰电气股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.8 河北中瓷电子科技股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.9 北方华创科技集团股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势8.3.10 沈阳新松机器人自动化股份有限公司1、企业基本信息2、企业经营情况3、企业业务架构/营收结构4、企业半导体设备零部件产品研发&生产5、企业半导体设备零部件产品销售&竞争6、企业半导体设备零部件产品应用&解决方案7、企业业务布局战略&优劣势——展望篇——第9章：中国半导体设备零部件行业发展环境洞察&SWOT分析9.1 中国半导体设备零部件行业经济（Economy）环境分析9.1.1 中国宏观经济发展现状9.1.2 中国宏观经济发展展望9.1.3 半导体设备零部件行业发展与宏观经济相关性分析9.2 中国半导体设备零部件行业社会（Society）环境分析9.2.1 中国半导体设备零部件行业社会环境分析9.2.2 社会环境对半导体设备零部件行业发展的影响总结9.3 中国半导体设备零部件行业政策（Policy）环境分析9.3.1 国家层面半导体设备零部件行业政策规划汇总及解读（指导类/支持类/限制类）1、国家层面半导体设备零部件行业政策汇总及解读2、国家层面半导体设备零部件行业规划汇总及解读9.3.2 部分省市半导体设备零部件行业政策规划汇总及解读（指导类/支持类/限制类）1、部分省市半导体设备零部件行业政策规划汇总2、部分省市半导体设备零部件行业发展目标解读9.3.3 国家“十四五”规划对半导体设备零部件行业发展的影响9.3.4 政策环境对半导体设备零部件行业发展的影响总结9.4 中国半导体设备零部件行业SWOT分析（优势/劣势/机会/威胁）第10章：中国半导体设备零部件行业市场前景及发展趋势洞悉10.1 中国半导体设备零部件行业发展潜力评估10.2 中国半导体设备零部件行业未来关键增长点10.3 中国半导体设备零部件行业发展前景预测（未来5年预测）10.4 中国半导体设备零部件行业发展趋势洞悉10.4.1 市场竞争趋势10.4.2 技术创新趋势10.4.3 细分市场趋势第11章：中国半导体设备零部件行业投资战略规划策略及建议11.1 中国半导体设备零部件行业进入与退出壁垒11.1.1 半导体设备零部件行业进入壁垒分析1、资金壁垒2、技术壁垒3、准入壁垒4、人才壁垒5、客户认证壁垒11.1.2 半导体设备零部件行业退出壁垒分析11.2 中国半导体设备零部件行业投资风险预警11.2.1 周期性风险11.2.2 成长性风险11.2.3 产业关联度风险11.2.4 市场集中度风险11.2.5 行业壁垒风险11.2.6 宏观政策风险11.3 中国半导体设备零部件行业投资机会分析11.3.1 半导体设备零部件产业链薄弱环节投资机会11.3.2 半导体设备零部件行业细分领域投资机会11.3.3 半导体设备零部件行业区域市场投资机会11.3.4 半导体设备零部件产业空白点投资机会11.4 中国半导体设备零部件行业投资价值评估11.5 中国半导体设备零部件行业投资策略建议11.6 中国半导体设备零部件行业可持续发展建议图表目录图表1：半导体设备零部件的定义图表2：半导体设备零部件专业术语图表3：半导体设备零部件的特征图表4：本报告研究领域所处行业（一）图表5：本报告研究领域所处行业（二）图表6：半导体设备零部件所在环节图表7：半导体设备零部件行业分类图表8：本报告研究范围界定图表9：本报告quanwei数据资料来源汇总图表10：本报告的主要研究方法及统计标准说明图表11：全球半导体设备零部件行业发展历程图表12：全球半导体设备零部件行业专利情况图表13：全球半导体设备零部件行业先进技术进展图表14：全球半导体行业整体市场规模图表15：全球半导体设备行业整体市场规模图表16：全球半导体设备零部件行业整体市场规模图表17：全球半导体设备零部件行业细分市场结构图表18：全球半导体设备零部件行业细分市场规模图表19：全球半导体设备零部件行业竞争格局图表20：全球半导体设备零部件企业成长路径分析图表21：全球半导体设备零部件行业市场份额图表22：全球半导体设备零部件行业投融资情况图表23：全球半导体设备零部件行业兼并重组图表24：全球半导体设备零部件区域发展格局图表25：重点区域市场分析：美国图表26：重点区域市场分析：欧洲图表27：重点区域市场分析：日本图表28：国外半导体设备零部件发展经验借鉴图表29：全球半导体设备零部件行业市场前景预测（未来5年预测）图表30：全球半导体设备零部件行业发展趋势洞悉图表31：中国半导体设备零部件行业发展历程图表32：《2022美国芯片法案》的负面影响图表33：美国对华半导体行业的限制措施图表34：美国对华技术打压影响分析图表35：日本对华半导体行业的限制措施图表36：日本对华技术打压影响分析图表37：荷兰对华半导体行业的限制措施图表38：荷兰对华技术打压影响分析图表39：美日荷对华技术限制及打压影响总结图表40：国家基金对中国半导体产业的扶持投入图表41：机械类产品企业专利申请情况图表42：机电一体类企业专利申请情况图表43：光学电气类企业专利申请情况图表44：中国半导体设备零部件技术路线及工艺流程图表45：中国半导体设备零部件关键技术现状与突破图表46：中国半导体设备零部件行业技术发展方向图表47：技术环境对半导体设备零部件行业的影响图表48：半导体设备零部件的商业模式图表49：中国半导体设备零部件行业生产企业图表50：半导体设备零部件的生产模式图表51：中国半导体设备零部件行业产能情况图表52：中国半导体设备行业产品结构图表53：中国半导体设备行业应用领域图表54：中国半导体设备行业市场规模图表55：中国半导体设备行业对零部件的影响图表56：中国大陆晶圆制造产能及扩展情况图表57：中国大陆晶圆制造对半导体设备零部件需求情况图表58：中国半导体设备零部件行业客户认证体系图表59：中国半导体设备零部件行业市场价格图表60：中国半导体设备行业整体国产化率图表61：中国半导体设备细分产品国产化率图表62：中国半导体设备零部件国产化率图表63：中国半导体行业不同环节国产化率对比图表64：半导体设备零部件行业市场规模体量分析图表65：中国半导体设备零部件行业发展痛点及挑战图表66：半导体设备零部件竞争者入场进程图表67：半导体设备零部件企业战略集群状况图表68：半导体设备零部件竞争者区域分布热力图图表69：半导体设备零部件竞争者发展战略布局状况图表70：半导体设备零部件市场竞争态势图表71：半导体设备零部件市场竞争格局图表72：半导体设备零部件市场集中度图表73：半导体设备零部件行业供应商的议价能力图表74：半导体设备零部件行业消费者的议价能力图表75：半导体设备零部件行业新进入者威胁图表76：半导体设备零部件行业替代品威胁图表77：半导体设备零部件行业现有企业竞争图表78：半导体设备零部件行业竞争状态总结图表79：中国企业在全球市场的优劣势分析图表80：中国企业和海外企业的差异分析图表81：半导体设备零部件行业主要资金来源图表82：半导体设备零部件行业投融资主体图表83：半导体设备零部件行业投融资汇总图表84：半导体设备零部件行业投融资规模图表85：半导体设备零部件行业投融资解读图表86：半导体设备零部件行业兼并与重组动因及方式图表87：半导体设备零部件行业兼并与重组事件汇总图表88：半导体设备零部件行业兼并与重组案例分析图表89：半导体设备零部件行业兼并与重组案例分析图表90：半导体设备零部件兼并重组阶段、方式及动因图表91：半导体设备零部件产业链结构梳理图表92：半导体设备零部件产业链生态图谱图表93：半导体设备零部件产业链区域热力图图表94：半导体设备零部件产业价值链分析图图表95：半导体设备零部件行业成本结构图表96：半导体设备零部件原材料市场发展现状图表97：半导体设备零部件金属材料图表98：半导体设备零部件非金属材料图表99：半导体设备零部件合金材料图表100：配套产业布局对半导体设备零部件行业的影响总结图表101：半导体设备零部件行业细分市场特性图表102：半导体设备零部件行业细分市场技术门槛图表103：机械类零部件市场概况图表104：机械类零部件发展趋势图表105：电气类零部件市场概况图表106：电气类零部件发展趋势图表107：机电一体类零部件市场概况图表108：机电一体类零部件发展趋势图表109：气体/液体/真空系统类市场概况图表110：气体/液体/真空系统类发展趋势图表111：仪器仪表类零部件市场概况图表112：光学类零部件市场概况图表113：定制装置市场概况图表114：中国半导体设备零部件行业细分市场战略地位分析图表115：中国半导体设备零部件细分应用设备分布图表116：中国半导体设备零部件细分应用市场结构图表117：半导体刻蚀设备发展现状图表118：半导体刻蚀设备发展趋势图表119：半导体刻蚀设备领域半导体设备零部件应用概述图表120：半导体刻蚀设备领域半导体设备零部件市场现状