EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，爱发科真空泵维修，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，爱发科真空泵维修中心，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。

特性和优点

可靠性

可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑

稳定

无制程污染 - 油和空气反吸保护

性能

长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承

再保证

安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准

可靠且稳定 - 高真空性能

爱德华真空泵维修始终致力于提供创新的真空泵和尾气处理系统的解决方案，应用于各种行业，爱发科真空泵维修价格，从实验室到需求多的半导体和工业行业，以及新兴的太阳能和生物柴油行业。爱德华努力降低您的运行成本，提高您的生产效率和产成品质量。爱德华提供的制造品质和的技术支持服务，并通过我们的服务网络，将产品推广到全世界。

爱德真空泵的极限真空为他们的高，快速抽气速度，安静的运作，有很强能理水蒸汽能力而。这直接驱动旋转叶片泵本身结构紧凑，无振动。

nXDS 干式涡旋泵

Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、极高的真空性能和先进的设计特性，性能居同类产品。

nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进，提高了抽取速度，降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。

nXDS 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本，使其成为应用于当今先进技术的小型干泵的。

爱发科真空泵维修-东欧真空设备有限公司-爱发科真空泵维修中心由东莞东欧真空设备有限公司提供。“真空机电设备及零配件,电子材料,仪器,润滑油”选择东莞东欧真空设备有限公司，公司位于：广东省寮步镇翠香中路6号，多年来，东欧真空坚持为客户提供好的服务，联系人：饶钦辉。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。东欧真空期待成为您的长期合作伙伴！