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衡鹏代理_晶圆减薄机GNX200B 日本冈本
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发布时间: 2021-11-17 18:23
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衡鹏代理_晶圆减薄机GNX200B 日本冈本

GNX200B是衡鹏代理的全自动晶圆减薄设备,机械搬送臂。



晶圆减薄机GNX200B特点:

·GNX200B拥有BG研磨技术。

·主轴机械精度可调

·润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损

·适用晶圆尺寸:6”、8” 、12”   MAX晶圆厚度: 1000μm。

·可切换全自动、半自动操作模式

·研磨硅屑细小,冲洗更干净




GNX200B晶圆减薄机规格:

规格                  GNX200B

MAX加工直径 Ф200mm

主轴转速范围 0~3600rpm

主轴驱动电机功率 2.2/4 Kw/P

主轴进给速度范围 1~999μm/min

主轴数                 2

工作盘转速范围 1~300rpm

研磨轮尺寸 Ф250mm

设备整重                 3900kg



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