特点

类型

规格

*紧凑的结构，轻巧的重量；

*结构设计合理，经济实用；

*探针操作灵敏，直线度高；

*便于维护；

Chuck（卡盘）

尺寸：4英寸，圆形

材质：不绣钢（可升级镀金）

旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升级为1um精度）

吸附孔：中心孔径最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为4"X4"

整体规格

U型设计，可放置4个高端探针座，中端最多8个探针座

平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固

尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜)

重量：50KG（带显微镜）

选配：

 *  Z轴升降行程：5mm，卡盘快速升降，方便更换样品，不会碰触到其他已调试好器件；

 *    卡盘镀金；

 *  搭配射频探针；

 *  视频CCD系统；

 *  防震桌；

 *  屏蔽箱；

 *  加热系统；