供液系统简称CDS

主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备,具有自动化程度高,配比,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能

控制模式:手动模式,自动模式

系统主要功能概述

每种化学液体配两个桶(自动切换)配 两台泵(一备一用)

CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部制程控制,操作界面流程方式执行兼具自动化与易用性

自动模式下可自行达成供酸功能

在手动模式及维修模式下可针对单一自动原件操作

操作模式：

CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制，操作介面以流程方式执行，

兼具自动化与亲和力。

在自动模式情形下可自行达成供酸之功能。

在手动模式及维修模式底下可针对单一自动元件操作。

设备结构：

     （1）机架(frame)：盘底SUS 方管50x50x1.5T 与机体以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架构而成，具有调整脚座。

     （2）外观：酸碱类系统的外观以WPP 被覆。

     （3） 箱体

       1. Sample Box /Tee Box /Valve Box VMB规范

       (一) 箱体材质型式

           i. 供腐蚀性化学品用之材质为WPP/ 透明PVC。

       (二) 阀体材质型式

           i. 供腐蚀性化学品用之材质为PFA或PTFE。

       (三) 泄漏侦测型式

           i. 采静电容式或光电式，须能耐酸硷之浸泡。

       (四) 分流箱(VMB)必要设施说明

           i. 箱体外部须清楚标示其所输送化学品之名称与化学式。

 设备内部空间规划：

     （1）配管区：管路流程整齐清楚，操作方便，具有防止喷溅及承接并排放泄漏功能。

     （2）电控区：完全密封，可防止酸气侵蚀电控元件。

     （3）取样区：取样方便具有防止酸液喷溅及排放泄漏功能。

     （4）桶槽区：方便更换桶槽，并有链条防止桶槽滑动，有正压及排气功能，保持区域内之洁净度，下方有排放泄漏功能。