广州半导体材料研究所创办于1966年，位于广州市天河区东莞庄路，占地面积2万5千平方米，位于广州五山高校园区，周围有华南理工大学、暨南大学、华南农业大学、广东工业大学等多所国内外著名高校。建所以来，主要研究超纯硅多晶、高阻硅单晶、大规模集成电路级硅单晶片工艺技术及测试方法、测试仪器、电力电子元器件。近年来结合通信信息和光电子行业的迅猛发展，发挥我所在人工晶体研究方面的技术优势，开展了压电晶体和激光晶体的研究开发和生产，在半导体材料、激光晶体、光学晶体、压电晶体和晶体生产技术、测试技术等领域有较强实力，形成了一定的特色，是广东省重要晶体材料及测试仪器的研究开发和生产基地。目前我所利用半导体材料生产的配套技术及晶体生长技术，建立了测试技术开发中心、半导体技术开 详细